清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2002年
11期
1452-1454,1462
,共4页
许光跃%路新春%常香荣%赵春生
許光躍%路新春%常香榮%趙春生
허광약%로신춘%상향영%조춘생
Fe-N/TiN多层膜%结构%硬度%界面
Fe-N/TiN多層膜%結構%硬度%界麵
Fe-N/TiN다층막%결구%경도%계면
该文用磁控溅射法制备了一系列Fe-N/TiN纳米多层膜; 利用广角和小角X射线衍射和俄歇电子能谱对多层膜的微观结构和成分进行了测试; 利用纳米硬度计和纳米划痕仪研究了多层膜的微观力学性能.固定Fe-N层厚度为20 nm, 改变TiN层的厚度,研究了TiN层厚度变化对Fe-N/TiN纳米多层膜的附着力、硬度、弹性模量等性能的影响.发现TiN层为2 nm时多层膜有最好的力学性能,说明对Fe-N/TiN多层膜来说,对力学性能影响最大的是多层膜的调制周期.
該文用磁控濺射法製備瞭一繫列Fe-N/TiN納米多層膜; 利用廣角和小角X射線衍射和俄歇電子能譜對多層膜的微觀結構和成分進行瞭測試; 利用納米硬度計和納米劃痕儀研究瞭多層膜的微觀力學性能.固定Fe-N層厚度為20 nm, 改變TiN層的厚度,研究瞭TiN層厚度變化對Fe-N/TiN納米多層膜的附著力、硬度、彈性模量等性能的影響.髮現TiN層為2 nm時多層膜有最好的力學性能,說明對Fe-N/TiN多層膜來說,對力學性能影響最大的是多層膜的調製週期.
해문용자공천사법제비료일계렬Fe-N/TiN납미다층막; 이용엄각화소각X사선연사화아헐전자능보대다층막적미관결구화성분진행료측시; 이용납미경도계화납미화흔의연구료다층막적미관역학성능.고정Fe-N층후도위20 nm, 개변TiN층적후도,연구료TiN층후도변화대Fe-N/TiN납미다층막적부착력、경도、탄성모량등성능적영향.발현TiN층위2 nm시다층막유최호적역학성능,설명대Fe-N/TiN다층막래설,대역학성능영향최대적시다층막적조제주기.
