CAJ | 학술논문

针对目前激光外差干涉实时测量中,由于现场工作环境的限制,无法对闲区误差进行实时自动补偿的问题,提出了一种基于实时测量闲区值和折射率值的闲区误差补偿方法.该补偿方法以激光测距仪为主体,结合偏振片、偏振旋转器对闲区长度值进行测量,利用空气折射率测量仪获得测量过程中的空气折射率数值,并根据终端修正原则,取每次测量开始和结束时的折射率数值与清零时的闲区值对干涉测量结果进行修正.可有效降低实时测量中由折射率变化所引起的闲区误差对测量结果的影响,实验表明,本方法在折射率变化2.7×10-6,闲区值为100 mm的情况下,对HP5528干涉系统进行补偿后使零点漂移最大值从300 nm减小到30 nm.
침대목전격광외차간섭실시측량중,유우현장공작배경적한제,무법대한구오차진행실시자동보상적문제,제출료일충기우실시측량한구치화절사솔치적한구오차보상방법.해보상방법이격광측거의위주체,결합편진편、편진선전기대한구장도치진행측량,이용공기절사솔측량의획득측량과정중적공기절사솔수치,병근거종단수정원칙,취매차측량개시화결속시적절사솔수치여청령시적한구치대간섭측량결과진행수정.가유효강저실시측량중유절사솔변화소인기적한구오차대측량결과적영향,실험표명,본방법재절사솔변화2.7×10-6,한구치위100 mm적정황하,대HP5528간섭계통진행보상후사영점표이최대치종300 nm감소도30 nm.