北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2002年
4期
478-481
,共4页
张旭%张通和%易仲珍%张荟星%王广甫
張旭%張通和%易仲珍%張薈星%王廣甫
장욱%장통화%역중진%장회성%왕엄보
磁过滤%类金刚石膜%金属蒸汽真空弧
磁過濾%類金剛石膜%金屬蒸汽真空弧
자과려%류금강석막%금속증기진공호
采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面(单晶硅、不锈钢和工具钢等)上制备高质量类金刚石(DLC)薄膜.实验结果表明,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加,达到最大值后,再增加沉积能量含量反而下降.硬度测试结果表明,非晶金刚石薄膜具有极高的硬度,为70～78GPa,远远高于衬底材料的硬度值.对非晶金刚石薄膜的摩擦性能试验结果表明,非晶金刚石薄膜的摩擦因数为0.16～0.2,大大低于衬底材料.
採用磁過濾MEVVA沉積技術以石墨為陰極在幾種襯底錶麵(單晶硅、不鏽鋼和工具鋼等)上製備高質量類金剛石(DLC)薄膜.實驗結果錶明,沉積能量對薄膜的sp3鍵含量的影響為先隨能量的增加而增加,達到最大值後,再增加沉積能量含量反而下降.硬度測試結果錶明,非晶金剛石薄膜具有極高的硬度,為70～78GPa,遠遠高于襯底材料的硬度值.對非晶金剛石薄膜的摩抆性能試驗結果錶明,非晶金剛石薄膜的摩抆因數為0.16～0.2,大大低于襯底材料.
채용자과려MEVVA침적기술이석묵위음겁재궤충츤저표면(단정규、불수강화공구강등)상제비고질량류금강석(DLC)박막.실험결과표명,침적능량대박막적sp3건함량적영향위선수능량적증가이증가,체도최대치후,재증가침적능량함량반이하강.경도측시결과표명,비정금강석박막구유겁고적경도,위70～78GPa,원원고우츤저재료적경도치.대비정금강석박막적마찰성능시험결과표명,비정금강석박막적마찰인수위0.16～0.2,대대저우츤저재료.
