兰州大学学报(自然科学版)
蘭州大學學報(自然科學版)
란주대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF LANZHOU UNIVERSITY
2002年
2期
48-51
,共4页
龚恒翔%王印月%方泽波%徐大印%杨映虎
龔恆翔%王印月%方澤波%徐大印%楊映虎
공항상%왕인월%방택파%서대인%양영호
多晶ZnO薄膜%RF反应溅射%取向生长%透过率
多晶ZnO薄膜%RF反應濺射%取嚮生長%透過率
다정ZnO박막%RF반응천사%취향생장%투과솔
采用RF反应溅射法在普通玻璃衬底上制备了具有良好c轴取向性的透明多晶ZnO薄膜. 由X射线衍射技术(XRD)分析了样品结构与沉积条件的关系. 溅射气体中O2分压比R(PO2/PAr)和衬底温度Ts对ZnO薄膜的结构有显著和相似的影响, 达到最佳点之前, 这两个参数与ZnO薄膜质量是正相关的, 随后薄膜质量随R和Ts的增大而急剧下降. 在最佳沉积条件下得到的样品XRD谱中只有(002)一个衍射峰, 此衍射峰半高宽(FWHM)仅为0.20°, 由此计算得到晶粒大小为42.8 nm. 同时还发现所有薄膜中都有垂直于c轴的压应变存在, 并且随着衬底温度的升高而减小. 由薄膜折射率数据计算得到的薄膜堆积密度达到97%, 在300～1 000 nm波长范围内样品的平均透过率达到92%, 表明样品具有良好的致密度和透明性.
採用RF反應濺射法在普通玻璃襯底上製備瞭具有良好c軸取嚮性的透明多晶ZnO薄膜. 由X射線衍射技術(XRD)分析瞭樣品結構與沉積條件的關繫. 濺射氣體中O2分壓比R(PO2/PAr)和襯底溫度Ts對ZnO薄膜的結構有顯著和相似的影響, 達到最佳點之前, 這兩箇參數與ZnO薄膜質量是正相關的, 隨後薄膜質量隨R和Ts的增大而急劇下降. 在最佳沉積條件下得到的樣品XRD譜中隻有(002)一箇衍射峰, 此衍射峰半高寬(FWHM)僅為0.20°, 由此計算得到晶粒大小為42.8 nm. 同時還髮現所有薄膜中都有垂直于c軸的壓應變存在, 併且隨著襯底溫度的升高而減小. 由薄膜摺射率數據計算得到的薄膜堆積密度達到97%, 在300～1 000 nm波長範圍內樣品的平均透過率達到92%, 錶明樣品具有良好的緻密度和透明性.
채용RF반응천사법재보통파리츤저상제비료구유량호c축취향성적투명다정ZnO박막. 유X사선연사기술(XRD)분석료양품결구여침적조건적관계. 천사기체중O2분압비R(PO2/PAr)화츤저온도Ts대ZnO박막적결구유현저화상사적영향, 체도최가점지전, 저량개삼수여ZnO박막질량시정상관적, 수후박막질량수R화Ts적증대이급극하강. 재최가침적조건하득도적양품XRD보중지유(002)일개연사봉, 차연사봉반고관(FWHM)부위0.20°, 유차계산득도정립대소위42.8 nm. 동시환발현소유박막중도유수직우c축적압응변존재, 병차수착츤저온도적승고이감소. 유박막절사솔수거계산득도적박막퇴적밀도체도97%, 재300～1 000 nm파장범위내양품적평균투과솔체도92%, 표명양품구유량호적치밀도화투명성.
