红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2002年
3期
238-240
,共3页
居建华%夏义本%桑文斌%王林军%吴汶海%汤定元
居建華%夏義本%桑文斌%王林軍%吳汶海%湯定元
거건화%하의본%상문빈%왕림군%오문해%탕정원
类金刚石%薄膜%红外%界面
類金剛石%薄膜%紅外%界麵
류금강석%박막%홍외%계면
采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积纳米颗粒的类金刚石薄膜(DLC),对DLC/MCT界面进行了俄歇电子能谱(AES)分析,并与离子溅射法(IS)沉积的ZnS/MCT界面比较,结果表明DLC和ZnS薄膜都能较好地抑制MCT中HgTe的分解,在一定程度上阻挡了MCT中Hg的外扩散.相对于ZnS中的S而言,DLC的C在MCT中的内扩散深度较小(前者为400,而后者仅为200).红外透射光谱结果表明DLC膜比ZnS膜具有更好的抗反射效果.
採用等離子增彊化學氣相法(PECVD)在碲鎘汞(MCT)襯底上沉積納米顆粒的類金剛石薄膜(DLC),對DLC/MCT界麵進行瞭俄歇電子能譜(AES)分析,併與離子濺射法(IS)沉積的ZnS/MCT界麵比較,結果錶明DLC和ZnS薄膜都能較好地抑製MCT中HgTe的分解,在一定程度上阻擋瞭MCT中Hg的外擴散.相對于ZnS中的S而言,DLC的C在MCT中的內擴散深度較小(前者為400,而後者僅為200).紅外透射光譜結果錶明DLC膜比ZnS膜具有更好的抗反射效果.
채용등리자증강화학기상법(PECVD)재제력홍(MCT)츤저상침적납미과립적류금강석박막(DLC),대DLC/MCT계면진행료아헐전자능보(AES)분석,병여리자천사법(IS)침적적ZnS/MCT계면비교,결과표명DLC화ZnS박막도능교호지억제MCT중HgTe적분해,재일정정도상조당료MCT중Hg적외확산.상대우ZnS중적S이언,DLC적C재MCT중적내확산심도교소(전자위400,이후자부위200).홍외투사광보결과표명DLC막비ZnS막구유경호적항반사효과.
