固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2002年
3期
367-370
,共4页
朱炎%狄国庆%陈亚杰%赵登涛
硃炎%狄國慶%陳亞傑%趙登濤
주염%적국경%진아걸%조등도
磁场梯度%磁镜%磁控溅射%辉光%厚度梯度
磁場梯度%磁鏡%磁控濺射%輝光%厚度梯度
자장제도%자경%자공천사%휘광%후도제도
通过在基片的下方放置磁铁,在放电空间中引入了纵向的磁场梯度.在这种情况下,辉光外貌发生显著收缩.同时,沉积的薄膜在平面内存在明显的厚度梯度.利用磁场中带电粒子的运动理论解释了此种薄膜的形成机制.
通過在基片的下方放置磁鐵,在放電空間中引入瞭縱嚮的磁場梯度.在這種情況下,輝光外貌髮生顯著收縮.同時,沉積的薄膜在平麵內存在明顯的厚度梯度.利用磁場中帶電粒子的運動理論解釋瞭此種薄膜的形成機製.
통과재기편적하방방치자철,재방전공간중인입료종향적자장제도.재저충정황하,휘광외모발생현저수축.동시,침적적박막재평면내존재명현적후도제도.이용자장중대전입자적운동이론해석료차충박막적형성궤제.
