真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
2期
100-103
,共4页
时东霞%巴德纯%庞世瑾%胡文斐%李林%高鸿钧
時東霞%巴德純%龐世瑾%鬍文斐%李林%高鴻鈞
시동하%파덕순%방세근%호문비%리림%고홍균
外延生长 扫描探针显微镜 SrTiO3 YBa2Cu3O7-δ
外延生長 掃描探針顯微鏡 SrTiO3 YBa2Cu3O7-δ
외연생장 소묘탐침현미경 SrTiO3 YBa2Cu3O7-δ
采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa2Cu3O7-δ薄膜具有相对光滑的表面形貌,薄膜表面由沿SrTiO3台阶趋向外延生长的纳米台阶组成,薄膜生长模式主要以台阶媒体生长为主.
採用激光脈遲沉積法在鈦痠鍶SrTiO3(001)斜切基片上外延生長YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大氣環境下採用掃描探針顯微鏡對YBa2Cu3O7-δ薄膜的錶麵納米形貌進行直接觀察.髮現YBa2Cu3O7-δ薄膜具有相對光滑的錶麵形貌,薄膜錶麵由沿SrTiO3檯階趨嚮外延生長的納米檯階組成,薄膜生長模式主要以檯階媒體生長為主.
채용격광맥충침적법재태산송SrTiO3(001)사절기편상외연생장YBa2Cu3O7-δ박막,재대기배경하채용소묘탐침현미경대YBa2Cu3O7-δ박막적표면납미형모진행직접관찰.발현YBa2Cu3O7-δ박막구유상대광활적표면형모,박막표면유연SrTiO3태계추향외연생장적납미태계조성,박막생장모식주요이태계매체생장위주.
