科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2002年
1期
59-60
,共2页
吕永积%刘光诒%邵佑军%施化芬
呂永積%劉光詒%邵祐軍%施化芬
려영적%류광이%소우군%시화분
真空微电子平板摄像管VME FPC真空热预处理VHPT 非真空热后处理NHAT
真空微電子平闆攝像管VME FPC真空熱預處理VHPT 非真空熱後處理NHAT
진공미전자평판섭상관VME FPC진공열예처리VHPT 비진공열후처리NHAT
为了开发用于真空微电子平板摄像管Vacuum Microelectronics FlatPanelelCamera Tube(VME FPC)的高灵敏度CdSe多层光导靶面,改建了一台精确控制Cdse材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空热蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理组成的系列新处理工艺,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.
為瞭開髮用于真空微電子平闆攝像管Vacuum Microelectronics FlatPanelelCamera Tube(VME FPC)的高靈敏度CdSe多層光導靶麵,改建瞭一檯精確控製Cdse材料的蒸髮速率、厚度和基體溫度的高真空熱蒸鍍設備,開髮瞭由真空熱預處理,非真空熱後處理組成的繫列新處理工藝,製造齣瞭新的高性能的CdSe多層光導靶.
위료개발용우진공미전자평판섭상관Vacuum Microelectronics FlatPanelelCamera Tube(VME FPC)적고령민도CdSe다층광도파면,개건료일태정학공제Cdse재료적증발속솔、후도화기체온도적고진공열증도설비,개발료유진공열예처리,비진공열후처리조성적계렬신처리공예,제조출료신적고성능적CdSe다층광도파.
