中国外资
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FOREIGN INVESTMENT IN CHINA
2008年
11期
310-311
,共2页
非晶硅%微晶硅%SC
非晶硅%微晶硅%SC
비정규%미정규%SC
在相同氢稀释硅烷浓度和相同的其它沉积参数情况下,在电池和玻璃上本征材料晶化程度不同,微结构有差别.硅烷浓度SC=8%～2%区间采用提高氢稀释硅烷浓度的方法沉积非晶硅,可使材料的有序度提高.本征层材料硅烷浓度SC=6%的电池在沉积时随着衬底温度的增高,电池的开路电压逐渐减小;电池的填充因子随着本征层压力的增大也呈现上升趋势,开路电压随着沉积压力的增大又逐渐降低.
在相同氫稀釋硅烷濃度和相同的其它沉積參數情況下,在電池和玻璃上本徵材料晶化程度不同,微結構有差彆.硅烷濃度SC=8%～2%區間採用提高氫稀釋硅烷濃度的方法沉積非晶硅,可使材料的有序度提高.本徵層材料硅烷濃度SC=6%的電池在沉積時隨著襯底溫度的增高,電池的開路電壓逐漸減小;電池的填充因子隨著本徵層壓力的增大也呈現上升趨勢,開路電壓隨著沉積壓力的增大又逐漸降低.
재상동경희석규완농도화상동적기타침적삼수정황하,재전지화파리상본정재료정화정도불동,미결구유차별.규완농도SC=8%～2%구간채용제고경희석규완농도적방법침적비정규,가사재료적유서도제고.본정층재료규완농도SC=6%적전지재침적시수착츤저온도적증고,전지적개로전압축점감소;전지적전충인자수착본정층압력적증대야정현상승추세,개로전압수착침적압력적증대우축점강저.
