微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
419-421
,共3页
王丛舜%熊春阳%杨振川%张大成%方竞
王叢舜%熊春暘%楊振川%張大成%方競
왕총순%웅춘양%양진천%장대성%방경
微镜%梳齿驱动器%体硅工艺%扭转
微鏡%梳齒驅動器%體硅工藝%扭轉
미경%소치구동기%체규공예%뉴전
基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值.本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成.由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离,使得微镜在梳齿驱动器的横向静电力驱动下,发生一定角度的扭转.测试中发现了微镜初步设计中的薄弱环节,经过改进后可望进一步改善微镜的性能.
基于MEMS技術的微鏡在投影顯示、光學掃描和光通信等領域中都具有重要的應用價值.本文提齣瞭一種新型的靜電驅動的單軸扭轉微鏡,這種MEMS微鏡採用標準體硅工藝和絕緣連接工藝製成.由于驅動力作用線和扭轉中心之間存在一定的距離,使得微鏡在梳齒驅動器的橫嚮靜電力驅動下,髮生一定角度的扭轉.測試中髮現瞭微鏡初步設計中的薄弱環節,經過改進後可望進一步改善微鏡的性能.
기우MEMS기술적미경재투영현시、광학소묘화광통신등영역중도구유중요적응용개치.본문제출료일충신형적정전구동적단축뉴전미경,저충MEMS미경채용표준체규공예화절연련접공예제성.유우구동력작용선화뉴전중심지간존재일정적거리,사득미경재소치구동기적횡향정전력구동하,발생일정각도적뉴전.측시중발현료미경초보설계중적박약배절,경과개진후가망진일보개선미경적성능.
