激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2003年
5期
453-456,459
,共5页
敖育红%胡少六%龙华%徐业斌%王又青
敖育紅%鬍少六%龍華%徐業斌%王又青
오육홍%호소륙%룡화%서업빈%왕우청
超快脉冲激光沉积%双光束脉冲激光沉积%脉冲激光真空弧薄膜制备%薄膜技术
超快脈遲激光沉積%雙光束脈遲激光沉積%脈遲激光真空弧薄膜製備%薄膜技術
초쾌맥충격광침적%쌍광속맥충격광침적%맥충격광진공호박막제비%박막기술
脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术.陈述了其原理、特点、研究方法,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧、双光束脉冲激光沉积等最新的PLD薄膜制备技术研究进展.
脈遲激光沉積薄膜是近年來髮展起來的使用範圍最廣、最有希望的製膜技術.陳述瞭其原理、特點、研究方法,總結瞭超快脈遲激光、脈遲激光真空弧、雙光束脈遲激光沉積等最新的PLD薄膜製備技術研究進展.
맥충격광침적박막시근년래발전기래적사용범위최엄、최유희망적제막기술.진술료기원리、특점、연구방법,총결료초쾌맥충격광、맥충격광진공호、쌍광속맥충격광침적등최신적PLD박막제비기술연구진전.
