稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2006年
z1期
50-54
,共5页
陈海滨%周旗钢%万关良%肖清华
陳海濱%週旂鋼%萬關良%肖清華
진해빈%주기강%만관량%초청화
损伤%恒定腐蚀%双晶衍射%300 mm硅片
損傷%恆定腐蝕%雙晶衍射%300 mm硅片
손상%항정부식%쌍정연사%300 mm규편
测量300 mm双面磨削硅片损伤层厚度,不仅可以为优化双面磨削工艺提供科学依据,并最终可以减少双面磨削损伤层厚度,而且可以有助于减少抛光时间,改善抛光硅片的几何参数.本文应用恒定腐蚀法和双晶衍射法测量了300 mm硅片双面磨削工艺后的损伤层厚度,对恒定腐蚀法进行了较深入的研究,并结合恒定腐蚀法的结果对硅片进行双晶衍射.得出以下结论:杨氏腐蚀液因为对缺陷具有良好的择优性能,可以用以损伤层厚度检测.而硝酸腐蚀液因为对缺陷不具有良好的择优性能,因而不能用以损伤层厚度检测;恒定腐蚀法可以粗略测定磨削硅片损伤层厚度,而双晶衍射法可以精确测定磨削硅片损伤层厚度;根据恒定腐蚀法的测试结果来进行双晶衍射,可以减少测试样品的数量,节省试验经费;300 mm直拉P型＜100＞硅片经2000#砂轮双面磨削后的损伤层厚度为12.5μm.
測量300 mm雙麵磨削硅片損傷層厚度,不僅可以為優化雙麵磨削工藝提供科學依據,併最終可以減少雙麵磨削損傷層厚度,而且可以有助于減少拋光時間,改善拋光硅片的幾何參數.本文應用恆定腐蝕法和雙晶衍射法測量瞭300 mm硅片雙麵磨削工藝後的損傷層厚度,對恆定腐蝕法進行瞭較深入的研究,併結閤恆定腐蝕法的結果對硅片進行雙晶衍射.得齣以下結論:楊氏腐蝕液因為對缺陷具有良好的擇優性能,可以用以損傷層厚度檢測.而硝痠腐蝕液因為對缺陷不具有良好的擇優性能,因而不能用以損傷層厚度檢測;恆定腐蝕法可以粗略測定磨削硅片損傷層厚度,而雙晶衍射法可以精確測定磨削硅片損傷層厚度;根據恆定腐蝕法的測試結果來進行雙晶衍射,可以減少測試樣品的數量,節省試驗經費;300 mm直拉P型＜100＞硅片經2000#砂輪雙麵磨削後的損傷層厚度為12.5μm.
측량300 mm쌍면마삭규편손상층후도,불부가이위우화쌍면마삭공예제공과학의거,병최종가이감소쌍면마삭손상층후도,이차가이유조우감소포광시간,개선포광규편적궤하삼수.본문응용항정부식법화쌍정연사법측량료300 mm규편쌍면마삭공예후적손상층후도,대항정부식법진행료교심입적연구,병결합항정부식법적결과대규편진행쌍정연사.득출이하결론:양씨부식액인위대결함구유량호적택우성능,가이용이손상층후도검측.이초산부식액인위대결함불구유량호적택우성능,인이불능용이손상층후도검측;항정부식법가이조략측정마삭규편손상층후도,이쌍정연사법가이정학측정마삭규편손상층후도;근거항정부식법적측시결과래진행쌍정연사,가이감소측시양품적수량,절성시험경비;300 mm직랍P형＜100＞규편경2000#사륜쌍면마삭후적손상층후도위12.5μm.
