人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
3期
608-611
,共4页
林方婷%李娜%马学鸣%石旺舟
林方婷%李娜%馬學鳴%石旺舟
림방정%리나%마학명%석왕주
Ni0.7Zn0.3O薄膜%脉冲激光沉积%缺陷荧光特性%热处理
Ni0.7Zn0.3O薄膜%脈遲激光沉積%缺陷熒光特性%熱處理
Ni0.7Zn0.3O박막%맥충격광침적%결함형광특성%열처리
采用脉冲激光沉积法在Si(100)衬底上制备了Ni0.7Zn0.3O薄膜,通过热处理改变薄膜的缺陷状态,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光光谱仪表征薄膜的晶体结构、表面形貌和缺陷发光特性.结果表明:沉积态薄膜为立方结构的Ni0.7Zn0.3O单相,且沿着(200)面高度取向生长.经过热处理后,薄膜形成ZnO和Ni0.7Zn0.3O两相共存的镶嵌结构.样品具有非常丰富的室温荧光光谱,其发光峰主要来自Ni0.7Zn0.3O的缺陷能级跃迁,多缺陷能级导致了多发光峰的荧光光谱.热处理引起薄膜中缺陷的种类和浓度发生变化,严重影响其发光特性.
採用脈遲激光沉積法在Si(100)襯底上製備瞭Ni0.7Zn0.3O薄膜,通過熱處理改變薄膜的缺陷狀態,併利用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡和熒光光譜儀錶徵薄膜的晶體結構、錶麵形貌和缺陷髮光特性.結果錶明:沉積態薄膜為立方結構的Ni0.7Zn0.3O單相,且沿著(200)麵高度取嚮生長.經過熱處理後,薄膜形成ZnO和Ni0.7Zn0.3O兩相共存的鑲嵌結構.樣品具有非常豐富的室溫熒光光譜,其髮光峰主要來自Ni0.7Zn0.3O的缺陷能級躍遷,多缺陷能級導緻瞭多髮光峰的熒光光譜.熱處理引起薄膜中缺陷的種類和濃度髮生變化,嚴重影響其髮光特性.
채용맥충격광침적법재Si(100)츤저상제비료Ni0.7Zn0.3O박막,통과열처리개변박막적결함상태,병이용X사선연사의、소묘전자현미경화형광광보의표정박막적정체결구、표면형모화결함발광특성.결과표명:침적태박막위립방결구적Ni0.7Zn0.3O단상,차연착(200)면고도취향생장.경과열처리후,박막형성ZnO화Ni0.7Zn0.3O량상공존적양감결구.양품구유비상봉부적실온형광광보,기발광봉주요래자Ni0.7Zn0.3O적결함능급약천,다결함능급도치료다발광봉적형광광보.열처리인기박막중결함적충류화농도발생변화,엄중영향기발광특성.
