半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2009年
7期
634-636
,共3页
王婷%胡跃明%戚其丰%杨立玲
王婷%鬍躍明%慼其豐%楊立玲
왕정%호약명%척기봉%양립령
上芯机%图像分割%自适应阈值%同态滤波
上芯機%圖像分割%自適應閾值%同態濾波
상심궤%도상분할%자괄응역치%동태려파
全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,而机器视觉检测系统又是提高该设备产能和质量的关键系统.在机器视觉检测系统中,图像的有效分割是图像分析的基础.针对摄像机采集到的图像由于镜头具有球面像差的原因都不同程度地存在图像降质的现象(如暗角),分析了基于迭代算法、改进的自适应门限以及同态滤波的图像分割算法,并对IC芯片图像进行了三种方法的实验比较,结果表明,改进的自适应门限的图像分割算法能够满足IC芯片检测高精度、高速度的要求.
全自動上芯機是用于芯片生產後工序的關鍵設備之一,而機器視覺檢測繫統又是提高該設備產能和質量的關鍵繫統.在機器視覺檢測繫統中,圖像的有效分割是圖像分析的基礎.針對攝像機採集到的圖像由于鏡頭具有毬麵像差的原因都不同程度地存在圖像降質的現象(如暗角),分析瞭基于迭代算法、改進的自適應門限以及同態濾波的圖像分割算法,併對IC芯片圖像進行瞭三種方法的實驗比較,結果錶明,改進的自適應門限的圖像分割算法能夠滿足IC芯片檢測高精度、高速度的要求.
전자동상심궤시용우심편생산후공서적관건설비지일,이궤기시각검측계통우시제고해설비산능화질량적관건계통.재궤기시각검측계통중,도상적유효분할시도상분석적기출.침대섭상궤채집도적도상유우경두구유구면상차적원인도불동정도지존재도상강질적현상(여암각),분석료기우질대산법、개진적자괄응문한이급동태려파적도상분할산법,병대IC심편도상진행료삼충방법적실험비교,결과표명,개진적자괄응문한적도상분할산법능구만족IC심편검측고정도、고속도적요구.