化学世界
化學世界
화학세계
CHEMICAL WORLD
2012年
1期
52-55
,共4页
单硅烷%硅化镁法%还原法%四氯硅烷%三氯硅烷
單硅烷%硅化鎂法%還原法%四氯硅烷%三氯硅烷
단규완%규화미법%환원법%사록규완%삼록규완
单硅烷(SiH4)作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物,详细介绍了硅化镁法和还原法制备SiH4的工艺.硅化镁法的优点是工艺简单、成熟,原料易得；其缺点是分离和回收液氨时能耗大,SiH4收率相对较低.还原法的优点是可实现连续化生产、反应易于控制.
單硅烷(SiH4)作為一種提供硅組分的氣體源,可用于製造多種高純度晶體硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金屬硅化物,詳細介紹瞭硅化鎂法和還原法製備SiH4的工藝.硅化鎂法的優點是工藝簡單、成熟,原料易得；其缺點是分離和迴收液氨時能耗大,SiH4收率相對較低.還原法的優點是可實現連續化生產、反應易于控製.
단규완(SiH4)작위일충제공규조분적기체원,가용우제조다충고순도정체규、비정규、담화규、양화규급금속규화물,상세개소료규화미법화환원법제비SiH4적공예.규화미법적우점시공예간단、성숙,원료역득；기결점시분리화회수액안시능모대,SiH4수솔상대교저.환원법적우점시가실현련속화생산、반응역우공제.
