红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
10期
2758-2762
,共5页
张鹏%金光%马宏财%张元%钟兴%贾学志
張鵬%金光%馬宏財%張元%鐘興%賈學誌
장붕%금광%마굉재%장원%종흥%가학지
薄膜反射镜%面形分析%非均匀载荷%成形控制
薄膜反射鏡%麵形分析%非均勻載荷%成形控製
박막반사경%면형분석%비균균재하%성형공제
静电拉伸薄膜反射镜属于一种空间新概念超轻反射镜.成形控制是其关键技术,而面形分析是成形控制的基础.基于Karman方程分析了薄膜反射镜在均匀载荷作用下的面形,并推导了抛物面面形所需的非均匀载荷；对Φ300 mm口径薄膜反射镜进行了有限元建模,针对不同载荷作用下的薄膜拉伸面形进行了光机集成分析,反射镜中心挠度与理论计算吻合,反射镜在非均匀连续载荷作用下的波前差相对于均匀载荷作用降低了一个数量级,非均匀离散载荷下的面形也得到了改善.结果表明:薄膜反射镜在非均匀载荷下可以有效抑制像差并能控制薄膜成形.基于仿真结果设计了半解析薄膜反射镜成形控制的方法,为薄膜反射镜的成形控制提供了技术基础.
靜電拉伸薄膜反射鏡屬于一種空間新概唸超輕反射鏡.成形控製是其關鍵技術,而麵形分析是成形控製的基礎.基于Karman方程分析瞭薄膜反射鏡在均勻載荷作用下的麵形,併推導瞭拋物麵麵形所需的非均勻載荷；對Φ300 mm口徑薄膜反射鏡進行瞭有限元建模,針對不同載荷作用下的薄膜拉伸麵形進行瞭光機集成分析,反射鏡中心撓度與理論計算吻閤,反射鏡在非均勻連續載荷作用下的波前差相對于均勻載荷作用降低瞭一箇數量級,非均勻離散載荷下的麵形也得到瞭改善.結果錶明:薄膜反射鏡在非均勻載荷下可以有效抑製像差併能控製薄膜成形.基于倣真結果設計瞭半解析薄膜反射鏡成形控製的方法,為薄膜反射鏡的成形控製提供瞭技術基礎.
정전랍신박막반사경속우일충공간신개념초경반사경.성형공제시기관건기술,이면형분석시성형공제적기출.기우Karman방정분석료박막반사경재균균재하작용하적면형,병추도료포물면면형소수적비균균재하；대Φ300 mm구경박막반사경진행료유한원건모,침대불동재하작용하적박막랍신면형진행료광궤집성분석,반사경중심뇨도여이론계산문합,반사경재비균균련속재하작용하적파전차상대우균균재하작용강저료일개수량급,비균균리산재하하적면형야득도료개선.결과표명:박막반사경재비균균재하하가이유효억제상차병능공제박막성형.기우방진결과설계료반해석박막반사경성형공제적방법,위박막반사경적성형공제제공료기술기출.
