机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2004年
6期
23-27
,共5页
陈真勇%何永勇%褚福磊%黄靖远
陳真勇%何永勇%褚福磊%黃靖遠
진진용%하영용%저복뢰%황정원
微型机械%缺陷%动力学模型%模态分析
微型機械%缺陷%動力學模型%模態分析
미형궤계%결함%동역학모형%모태분석
在微机械设备中,由于制造方面的原因,存在诸如结构断裂、结构固定等缺陷,这些缺陷严重影响微机械设备的性能.通过建立微梁单元的三维动力学模型,应用节点分析方法,分别对带有微梁断裂、结构固定的微机械结构进行了动力学特性分析.计算结果表明微梁断裂使微机械结构的刚度降低,从而导致其固有频率变低,而结构固定则相反.
在微機械設備中,由于製造方麵的原因,存在諸如結構斷裂、結構固定等缺陷,這些缺陷嚴重影響微機械設備的性能.通過建立微樑單元的三維動力學模型,應用節點分析方法,分彆對帶有微樑斷裂、結構固定的微機械結構進行瞭動力學特性分析.計算結果錶明微樑斷裂使微機械結構的剛度降低,從而導緻其固有頻率變低,而結構固定則相反.
재미궤계설비중,유우제조방면적원인,존재제여결구단렬、결구고정등결함,저사결함엄중영향미궤계설비적성능.통과건립미량단원적삼유동역학모형,응용절점분석방법,분별대대유미량단렬、결구고정적미궤계결구진행료동역학특성분석.계산결과표명미량단렬사미궤계결구적강도강저,종이도치기고유빈솔변저,이결구고정칙상반.
