传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1970-1973
,共4页
刘晓为%王蔚%田丽%傅建奇%陈小洁%倪鹤南%曾娟
劉曉為%王蔚%田麗%傅建奇%陳小潔%倪鶴南%曾娟
류효위%왕위%전려%부건기%진소길%예학남%증연
微流体%微泵%微流量传感器%温度传感器
微流體%微泵%微流量傳感器%溫度傳感器
미류체%미빙%미류량전감기%온도전감기
设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片.采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时微沟道的散热作用,分析确定了芯片上各元件的结构.该集成芯片为硅-玻璃结构,在硅片上,利用ICP法刻蚀无阀微泵泵体和微沟道;在7740玻璃片上,以溅射、剥离法制作微流量和温度传感器;图形精确对准后硅/玻璃以静电键合方法封接.无阀微泵采用压电元件驱动.测试结果表明:集成芯片具有冷却功能,循环水的流速最大可达25.4mm/s.
設計、研製瞭集成有微泵、微溝道、微流量傳感器、溫度傳感器的微流體測控芯片.採用有限元軟件ANSYS模擬分析瞭將其作為冷卻芯片時微溝道的散熱作用,分析確定瞭芯片上各元件的結構.該集成芯片為硅-玻璃結構,在硅片上,利用ICP法刻蝕無閥微泵泵體和微溝道;在7740玻璃片上,以濺射、剝離法製作微流量和溫度傳感器;圖形精確對準後硅/玻璃以靜電鍵閤方法封接.無閥微泵採用壓電元件驅動.測試結果錶明:集成芯片具有冷卻功能,循環水的流速最大可達25.4mm/s.
설계、연제료집성유미빙、미구도、미류량전감기、온도전감기적미류체측공심편.채용유한원연건ANSYS모의분석료장기작위냉각심편시미구도적산열작용,분석학정료심편상각원건적결구.해집성심편위규-파리결구,재규편상,이용ICP법각식무벌미빙빙체화미구도;재7740파리편상,이천사、박리법제작미류량화온도전감기;도형정학대준후규/파리이정전건합방법봉접.무벌미빙채용압전원건구동.측시결과표명:집성심편구유냉각공능,순배수적류속최대가체25.4mm/s.
