物理学报
物理學報
물이학보
2007年
8期
4762-4770
,共9页
黄永宪%田修波%杨士勤%Fu Ricky%Chu K.Paul
黃永憲%田脩波%楊士勤%Fu Ricky%Chu K.Paul
황영헌%전수파%양사근%Fu Ricky%Chu K.Paul
等离子体浸没离子注入%鞘层%粒子模型%上升沿
等離子體浸沒離子註入%鞘層%粒子模型%上升沿
등리자체침몰리자주입%초층%입자모형%상승연
等离子体浸没离子注入(PIII)是用于材料表面改性的一种廉价高效、非视线的技术.采用等离子体粒子模型,通过假设电子密度服从Boltzmann分布,求解Poisson方程和Newton方程,跟踪离子在等离子体鞘层中的运动形态及特性并进行统计分析,研究了不同上升速率和形状的6种波形上升沿对鞘层时空演化、离子注入能量和剂量的影响.结果表明,在PIII过程中,脉冲上升沿影响了等离子体鞘层的扩展,且不同波形诱导的鞘层厚度问存在最大差值.电场强度在鞘层的外边缘区域存在陡降区,离子的运动为非匀加速过程.可以通过调整脉冲波形上升沿特性实现离子注入能量和剂量的优化,数值仿真可以有效地为电源设计和工艺优化提供依据.
等離子體浸沒離子註入(PIII)是用于材料錶麵改性的一種廉價高效、非視線的技術.採用等離子體粒子模型,通過假設電子密度服從Boltzmann分佈,求解Poisson方程和Newton方程,跟蹤離子在等離子體鞘層中的運動形態及特性併進行統計分析,研究瞭不同上升速率和形狀的6種波形上升沿對鞘層時空縯化、離子註入能量和劑量的影響.結果錶明,在PIII過程中,脈遲上升沿影響瞭等離子體鞘層的擴展,且不同波形誘導的鞘層厚度問存在最大差值.電場彊度在鞘層的外邊緣區域存在陡降區,離子的運動為非勻加速過程.可以通過調整脈遲波形上升沿特性實現離子註入能量和劑量的優化,數值倣真可以有效地為電源設計和工藝優化提供依據.
등리자체침몰리자주입(PIII)시용우재료표면개성적일충렴개고효、비시선적기술.채용등리자체입자모형,통과가설전자밀도복종Boltzmann분포,구해Poisson방정화Newton방정,근종리자재등리자체초층중적운동형태급특성병진행통계분석,연구료불동상승속솔화형상적6충파형상승연대초층시공연화、리자주입능량화제량적영향.결과표명,재PIII과정중,맥충상승연영향료등리자체초층적확전,차불동파형유도적초층후도문존재최대차치.전장강도재초층적외변연구역존재두강구,리자적운동위비균가속과정.가이통과조정맥충파형상승연특성실현리자주입능량화제량적우화,수치방진가이유효지위전원설계화공예우화제공의거.
