电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
4期
29-33
,共5页
碳/碳复合材料%直拉单晶炉%热系统保温装置
碳/碳複閤材料%直拉單晶爐%熱繫統保溫裝置
탄/탄복합재료%직랍단정로%열계통보온장치
介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异.通过在单晶炉上的实验应用,证明了碳/碳复合材料比石墨材料具有更好的实际应用效果,在直拉硅单晶领域具有很好的应用潜力.分析了碳/碳复合材料的一些不足,并提出了相应的解决方案.
介紹瞭熱繫統在直拉硅單晶中的作用,對比瞭石墨與碳/碳複閤材料的生產過程和性能特點與差異.通過在單晶爐上的實驗應用,證明瞭碳/碳複閤材料比石墨材料具有更好的實際應用效果,在直拉硅單晶領域具有很好的應用潛力.分析瞭碳/碳複閤材料的一些不足,併提齣瞭相應的解決方案.
개소료열계통재직랍규단정중적작용,대비료석묵여탄/탄복합재료적생산과정화성능특점여차이.통과재단정로상적실험응용,증명료탄/탄복합재료비석묵재료구유경호적실제응용효과,재직랍규단정영역구유흔호적응용잠력.분석료탄/탄복합재료적일사불족,병제출료상응적해결방안.
