安徽大学学报（自然科学版）
安徽大學學報（自然科學版）
안휘대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2012年
3期
13-18
,共6页
孙兆奇%汪娴%李俊磊%朱煜东%宋学萍
孫兆奇%汪嫻%李俊磊%硃煜東%宋學萍
손조기%왕한%리준뢰%주욱동%송학평
CuAlO2薄膜%磁控溅射%浸润性
CuAlO2薄膜%磁控濺射%浸潤性
CuAlO2박막%자공천사%침윤성
利用Al(OH)3和Cu2O高温固相反应烧结制备的靶材,采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备非晶CuAlO2薄膜.薄膜的表面均匀,颗粒大小约为50 nm,可见光范围内透射率为60％,平均折射率达2.0,直接带隙为3.86 eV.随着在紫外光源下曝光时间的增加,薄膜的接触角从96.3°减小到87.5°,薄膜仍呈现出良好的疏水性.
利用Al(OH)3和Cu2O高溫固相反應燒結製備的靶材,採用射頻磁控濺射法,在玻璃基片上製備非晶CuAlO2薄膜.薄膜的錶麵均勻,顆粒大小約為50 nm,可見光範圍內透射率為60％,平均摺射率達2.0,直接帶隙為3.86 eV.隨著在紫外光源下曝光時間的增加,薄膜的接觸角從96.3°減小到87.5°,薄膜仍呈現齣良好的疏水性.
이용Al(OH)3화Cu2O고온고상반응소결제비적파재,채용사빈자공천사법,재파리기편상제비비정CuAlO2박막.박막적표면균균,과립대소약위50 nm,가견광범위내투사솔위60％,평균절사솔체2.0,직접대극위3.86 eV.수착재자외광원하폭광시간적증가,박막적접촉각종96.3°감소도87.5°,박막잉정현출량호적소수성.
