真空
真空
진공
VACUUM
2004年
4期
114-116
,共3页
张成武%李国卿%柳翠%关秉羽
張成武%李國卿%柳翠%關秉羽
장성무%리국경%류취%관병우
四面体非晶碳膜%磁过滤%拉曼分析%偏压
四麵體非晶碳膜%磁過濾%拉曼分析%偏壓
사면체비정탄막%자과려%랍만분석%편압
介绍了脉冲磁过滤阴极电弧法制备四面体非晶碳膜(tetrahedral amorphous carbon即ta-C),并对制得的薄膜表面形貌、硬度、电阻等进行了测试.结果表明,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的ta-C膜有优良的性能.拉曼光谱分析显示,制得的薄膜为非晶结构,有明显的sp3结构特征,符合ta-C膜的特征峰.
介紹瞭脈遲磁過濾陰極電弧法製備四麵體非晶碳膜(tetrahedral amorphous carbon即ta-C),併對製得的薄膜錶麵形貌、硬度、電阻等進行瞭測試.結果錶明,脈遲磁過濾陰極電弧法製備的ta-C膜有優良的性能.拉曼光譜分析顯示,製得的薄膜為非晶結構,有明顯的sp3結構特徵,符閤ta-C膜的特徵峰.
개소료맥충자과려음겁전호법제비사면체비정탄막(tetrahedral amorphous carbon즉ta-C),병대제득적박막표면형모、경도、전조등진행료측시.결과표명,맥충자과려음겁전호법제비적ta-C막유우량적성능.랍만광보분석현시,제득적박막위비정결구,유명현적sp3결구특정,부합ta-C막적특정봉.
