表面处理对蓝宝石衬底的影响
표면처리대람보석츤저적영향
Influence of Surface Treatment on the Sapphire Substrate
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2005年 3期 431-434 ,共4页

    王银珍%彭观良%刘世良%李抒智%邹军%周圣明%徐军

    왕은진%팽관량%류세량%리서지%추군%주골명%서군

    蓝宝石%衬底%表面处理 藍寶石%襯底%錶麵處理
    람보석%츤저%표면처리
    蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底.本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响.结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好.
    람보석츤저시목전최위보편적일충츤저재료,시생장GaN、ZnO재료최상용적츤저.본문용광학현미경、원자력현미경(AFM)화고분변X사선쌍정행사대람보석츤저진행료분석측시,계통연구료경과궤계포광、화학궤계포광、화학부식등표면처리대람보석츤저표면성능적영향.결과표명경과화학궤계포광수후재경부식후적람보석츤저적표면성능최호.
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