压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2006年
2期
161-163
,共3页
BST薄膜%薄膜电容器%调谐特性%退火处理
BST薄膜%薄膜電容器%調諧特性%退火處理
BST박막%박막전용기%조해특성%퇴화처리
利用氩离子束溅射技术在SiO2/Si衬底上淀积Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST)薄膜, 该薄膜在氧气气氛中500℃退火处理30 min, 然后利用集成电路平面工艺将薄膜制作成叉指结构电容器.X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析表明, BST薄膜具有钙钛矿结构,薄膜表面光滑, 晶粒致密且分布均匀.调谐性能测试结果表明,该电容器具有较高的电容调谐率,在室温100 kHz频率下, 对于2 V的直流偏压, 其调谐率和损耗因子分别为62 %和0.02.这说明具有此结构的BST薄膜电容器可望应用于微波集成电路.
利用氬離子束濺射技術在SiO2/Si襯底上澱積Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST)薄膜, 該薄膜在氧氣氣氛中500℃退火處理30 min, 然後利用集成電路平麵工藝將薄膜製作成扠指結構電容器.X-射線衍射儀(XRD)和掃描電鏡(SEM)分析錶明, BST薄膜具有鈣鈦礦結構,薄膜錶麵光滑, 晶粒緻密且分佈均勻.調諧性能測試結果錶明,該電容器具有較高的電容調諧率,在室溫100 kHz頻率下, 對于2 V的直流偏壓, 其調諧率和損耗因子分彆為62 %和0.02.這說明具有此結構的BST薄膜電容器可望應用于微波集成電路.
이용아리자속천사기술재SiO2/Si츤저상정적Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST)박막, 해박막재양기기분중500℃퇴화처리30 min, 연후이용집성전로평면공예장박막제작성차지결구전용기.X-사선연사의(XRD)화소묘전경(SEM)분석표명, BST박막구유개태광결구,박막표면광활, 정립치밀차분포균균.조해성능측시결과표명,해전용기구유교고적전용조해솔,재실온100 kHz빈솔하, 대우2 V적직류편압, 기조해솔화손모인자분별위62 %화0.02.저설명구유차결구적BST박막전용기가망응용우미파집성전로.
