摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2006年
5期
413-416
,共4页
姚舜晖%苏演良%高文显%郑凯文
姚舜暉%囌縯良%高文顯%鄭凱文
요순휘%소연량%고문현%정개문
复合材料%Zr-Ti-N 薄膜%摩擦磨损性能
複閤材料%Zr-Ti-N 薄膜%摩抆磨損性能
복합재료%Zr-Ti-N 박막%마찰마손성능
采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳.
採用非平衡磁控濺射技術製備含不同鈦含量的氮化鋯(Zr-Ti-N)複閤薄膜材料,併研究薄膜基本特性及其摩抆磨損性能.結果錶明:隨著Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量為18.7 at.%時,薄膜的硬度達到最大值2 483HK0.025;噹添加16.5 at.%Ti時,硬度值略有降低,但臨界載荷最高,耐磨性最佳.
채용비평형자공천사기술제비함불동태함량적담화고(Zr-Ti-N)복합박막재료,병연구박막기본특성급기마찰마손성능.결과표명:수착Ti함량증가,Zr-Ti-N박막경도유소제고;재Ti함량위18.7 at.%시,박막적경도체도최대치2 483HK0.025;당첨가16.5 at.%Ti시,경도치략유강저,단림계재하최고,내마성최가.
