传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2009年
1期
10-12
,共3页
何高法%唐一科%何晓平%吴英
何高法%唐一科%何曉平%吳英
하고법%당일과%하효평%오영
微杠杆%误差分析%加速度计
微槓桿%誤差分析%加速度計
미강간%오차분석%가속도계
为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度,设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构,从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差,设计了误差消除机构;经有限元仿真分析证明:所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力,有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响.分析了形状加工误差对加速度计性能的影响,为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障.
為提高諧振式微加速度計的靈敏度和精確度,設計瞭放大慣性力的柔性微槓桿機構,從理論上分析瞭微槓桿機構的不對稱誤差,設計瞭誤差消除機構;經有限元倣真分析證明:所設計的機構能有效減小由不對稱誤差產生的橫嚮力,有效地消除瞭放大機構不對稱誤差對諧振器的影響.分析瞭形狀加工誤差對加速度計性能的影響,為製作高靈敏度和高精確度加速度計提供瞭保障.
위제고해진식미가속도계적령민도화정학도,설계료방대관성력적유성미강간궤구,종이론상분석료미강간궤구적불대칭오차,설계료오차소제궤구;경유한원방진분석증명:소설계적궤구능유효감소유불대칭오차산생적횡향력,유효지소제료방대궤구불대칭오차대해진기적영향.분석료형상가공오차대가속도계성능적영향,위제작고령민도화고정학도가속도계제공료보장.
