稀有金属与硬质合金
稀有金屬與硬質閤金
희유금속여경질합금
RARE METALS AND CEMENTED CARBIDES
2011年
2期
38-41,46
,共5页
李晶%赵晓东%李芝华%任冬燕
李晶%趙曉東%李芝華%任鼕燕
리정%조효동%리지화%임동연
ITO靶材%喷雾干燥%冷等静压%烧结
ITO靶材%噴霧榦燥%冷等靜壓%燒結
ITO파재%분무간조%랭등정압%소결
以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜(SEM)观察粉末、素坏及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析.实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高.
以化學共沉澱法製備的ITO粉末為原料,採用噴霧榦燥-冷等靜壓-燒結法製備瞭ITO靶材,通過掃描電子顯微鏡(SEM)觀察粉末、素壞及燒結後ITO靶材的錶麵形貌和氣孔分佈,併就粉末不同粒度組成對靶材壓製與燒結效果的影響進行瞭分析.實驗結果錶明:通過噴霧榦燥-冷等靜壓-燒結工藝可製備齣相對密度大于97%的ITO靶材,噴霧榦燥工序能有效改善粉末的流動性與壓形性,以細粉為主的素坯其燒結緻密化程度更高.
이화학공침정법제비적ITO분말위원료,채용분무간조-랭등정압-소결법제비료ITO파재,통과소묘전자현미경(SEM)관찰분말、소배급소결후ITO파재적표면형모화기공분포,병취분말불동립도조성대파재압제여소결효과적영향진행료분석.실험결과표명:통과분무간조-랭등정압-소결공예가제비출상대밀도대우97%적ITO파재,분무간조공서능유효개선분말적류동성여압형성,이세분위주적소배기소결치밀화정도경고.
