光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2005年
1期
22-27
,共6页
非球面抛光%小磨头修正抛光%特征去除函数
非毬麵拋光%小磨頭脩正拋光%特徵去除函數
비구면포광%소마두수정포광%특정거제함수
介绍了一种弹性模抛光与小磨头修正抛光相结合的两步研抛法实现中等口径光学非球面表面的快速抛光.利用弹性模预抛光来保证小工具抛光模型的准确稳定,并采用补偿的方法减小弹性模抛光对面形精度的破坏作用.然后利用优化的小磨头修正残留的表面误差来提高抛光精度.应用上述方法加工非球面,在较短的抛光周期中,获得的面形P-V精度达0.35μm.
介紹瞭一種彈性模拋光與小磨頭脩正拋光相結閤的兩步研拋法實現中等口徑光學非毬麵錶麵的快速拋光.利用彈性模預拋光來保證小工具拋光模型的準確穩定,併採用補償的方法減小彈性模拋光對麵形精度的破壞作用.然後利用優化的小磨頭脩正殘留的錶麵誤差來提高拋光精度.應用上述方法加工非毬麵,在較短的拋光週期中,穫得的麵形P-V精度達0.35μm.
개소료일충탄성모포광여소마두수정포광상결합적량보연포법실현중등구경광학비구면표면적쾌속포광.이용탄성모예포광래보증소공구포광모형적준학은정,병채용보상적방법감소탄성모포광대면형정도적파배작용.연후이용우화적소마두수정잔류적표면오차래제고포광정도.응용상술방법가공비구면,재교단적포광주기중,획득적면형P-V정도체0.35μm.
