制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2005年
3期
73-75
,共3页
真空镀膜%磁控溅射%机器人
真空鍍膜%磁控濺射%機器人
진공도막%자공천사%궤기인
介绍了一种用于真空环境下的真空镀膜机器人,并对其主要技术指标及在真空环境下机器人的所需的技术条件进行了分析论述.
介紹瞭一種用于真空環境下的真空鍍膜機器人,併對其主要技術指標及在真空環境下機器人的所需的技術條件進行瞭分析論述.
개소료일충용우진공배경하적진공도막궤기인,병대기주요기술지표급재진공배경하궤기인적소수적기술조건진행료분석논술.