安徽大学学报（自然科学版）
安徽大學學報（自然科學版）
안휘대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2006年
3期
58-61
,共4页
外延膜%晶格失配%应变驰豫%缺陷密度
外延膜%晶格失配%應變馳豫%缺陷密度
외연막%정격실배%응변치예%결함밀도
不同厚度的La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)外延薄膜被沉积到立方相的LaAlO3(001)单晶衬底上, XRD测试结果显示,LSMO外延膜的结构是单相的,具有与衬底相同的晶格取向; 随着膜厚的增加,LSMO外延膜的晶格经历应变到驰豫的变化.电阻测量显示,应变驰豫的薄膜(较厚的薄膜)有较大的电阻率,这与该膜中缺陷浓度增加有关.此外,也对生长在不同单晶衬底上的LSMO外延膜(厚度相同)的结构和电阻进行了对比研究.
不同厚度的La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)外延薄膜被沉積到立方相的LaAlO3(001)單晶襯底上, XRD測試結果顯示,LSMO外延膜的結構是單相的,具有與襯底相同的晶格取嚮; 隨著膜厚的增加,LSMO外延膜的晶格經歷應變到馳豫的變化.電阻測量顯示,應變馳豫的薄膜(較厚的薄膜)有較大的電阻率,這與該膜中缺陷濃度增加有關.此外,也對生長在不同單晶襯底上的LSMO外延膜(厚度相同)的結構和電阻進行瞭對比研究.
불동후도적La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)외연박막피침적도립방상적LaAlO3(001)단정츤저상, XRD측시결과현시,LSMO외연막적결구시단상적,구유여츤저상동적정격취향; 수착막후적증가,LSMO외연막적정격경력응변도치예적변화.전조측량현시,응변치예적박막(교후적박막)유교대적전조솔,저여해막중결함농도증가유관.차외,야대생장재불동단정츤저상적LSMO외연막(후도상동)적결구화전조진행료대비연구.
