真空
真空
진공
VACUUM
2007年
2期
18-21
,共4页
油扩散泵%抽气速率%选择性
油擴散泵%抽氣速率%選擇性
유확산빙%추기속솔%선택성
通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关.
通過對油擴散泵抽氣速率、氣體分子平均熱運動速度和分子流態下氣體流導的分析,指齣油擴散泵對不同氣體的抽氣速率具有選擇性,給齣瞭泵對不同氣體和空氣抽氣速率比值的計算值,同時指齣電離規的規管常數與氣體種類有關.
통과대유확산빙추기속솔、기체분자평균열운동속도화분자류태하기체류도적분석,지출유확산빙대불동기체적추기속솔구유선택성,급출료빙대불동기체화공기추기속솔비치적계산치,동시지출전리규적규관상수여기체충류유관.
