功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
10期
1660-1662
,共3页
谈国强%博海洋%苗鸿雁%夏傲%贺中亮
談國彊%博海洋%苗鴻雁%夏傲%賀中亮
담국강%박해양%묘홍안%하오%하중량
微图案%光刻印%HfO2微结构
微圖案%光刻印%HfO2微結構
미도안%광각인%HfO2미결구
结合光刻印技术和HfO2液相自组装沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的HfO2薄膜,该硅基图案化HfO2微结构近来在工业界特别是微电子领域引起极度的关注.X射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)显示,在图案区域成功制备了HfO2薄膜,EDS能谱测试显示了图案区域的HfO2薄膜的化学组成.
結閤光刻印技術和HfO2液相自組裝沉積成膜技術,在單晶硅錶麵成功地製備瞭具有微米級圖案結構的HfO2薄膜,該硅基圖案化HfO2微結構近來在工業界特彆是微電子領域引起極度的關註.X射線衍射(XRD)與掃描電鏡(SEM)顯示,在圖案區域成功製備瞭HfO2薄膜,EDS能譜測試顯示瞭圖案區域的HfO2薄膜的化學組成.
결합광각인기술화HfO2액상자조장침적성막기술,재단정규표면성공지제비료구유미미급도안결구적HfO2박막,해규기도안화HfO2미결구근래재공업계특별시미전자영역인기겁도적관주.X사선연사(XRD)여소묘전경(SEM)현시,재도안구역성공제비료HfO2박막,EDS능보측시현시료도안구역적HfO2박막적화학조성.
