CAJ | 학술논문

在像增强器制备过程中,转移阴极-铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率.相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应用前景.但是,热铟封技术在保证器件气密性方面仍需进一步改善.本文采用真空蒸镀方式,在玻璃上制备了多层金属薄膜,以提高In-Sn合金与玻璃的润湿性能.采用座滴法比较了合金在玻璃及五种膜层结构表面的润湿及铺展性能.利用JSM-6700F型场发射电子扫描显微镜分析了润湿界面特性.结果表明:In-Sn合金与玻璃的润湿性能差,且在封接界面处容易产生孔洞;In-Sn合金在膜层结构玻璃/Cr/Cu和玻璃/Cr/Ni/Cu/Ag上表现出良好的铺展性和润湿性,在封接界面处,合金与薄膜表层结合致密,无缝隙或孔洞出现;器件铟封实验表明,采用膜层结构玻璃/Cr/Ni/Cu/Ag,热钢封制管成品率高,气密性良好.
재상증강기제비과정중,전이음겁-인봉기술사기건설계경가자유,병능제고기건적증익급시간、공간분변솔.상대우냉압인봉,열인봉기술경가간단실용,설비조개저,인차,재진공광전기건제비영역유착엄범적응용전경.단시,열인봉기술재보증기건기밀성방면잉수진일보개선.본문채용진공증도방식,재파리상제비료다층금속박막,이제고In-Sn합금여파리적윤습성능.채용좌적법비교료합금재파리급오충막층결구표면적윤습급포전성능.이용JSM-6700F형장발사전자소묘현미경분석료윤습계면특성.결과표명:In-Sn합금여파리적윤습성능차,차재봉접계면처용역산생공동;In-Sn합금재막층결구파리/Cr/Cu화파리/Cr/Ni/Cu/Ag상표현출량호적포전성화윤습성,재봉접계면처,합금여박막표층결합치밀,무봉극혹공동출현;기건인봉실험표명,채용막층결구파리/Cr/Ni/Cu/Ag,열강봉제관성품솔고,기밀성량호.