太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
1期
35-40
,共6页
GaSb%Zn扩散曲线%SIMS%内量子效率
GaSb%Zn擴散麯線%SIMS%內量子效率
GaSb%Zn확산곡선%SIMS%내양자효솔
对Zn在N-CaSb晶片中的扩散过程进行了实验研究和分析.实验中采用"准密封"扩散方法,使用纯Zn和纯Sb作为扩散源,通过SIMS(二次离子质谱仪)测量,得出了不同扩散时间和扩散温度下的Zn扩散曲线.经分析,发现扩散源用量对SIMS测最和实验结果有很大影响,在此基础上得出了较为理想的Zn扩散曲线所对应的工况.计算了不同Zn扩散曲线对应的内量子效率,计算结果表明,扩散实验得到的晶片经精确刻蚀后的内量子效率接近70%.
對Zn在N-CaSb晶片中的擴散過程進行瞭實驗研究和分析.實驗中採用"準密封"擴散方法,使用純Zn和純Sb作為擴散源,通過SIMS(二次離子質譜儀)測量,得齣瞭不同擴散時間和擴散溫度下的Zn擴散麯線.經分析,髮現擴散源用量對SIMS測最和實驗結果有很大影響,在此基礎上得齣瞭較為理想的Zn擴散麯線所對應的工況.計算瞭不同Zn擴散麯線對應的內量子效率,計算結果錶明,擴散實驗得到的晶片經精確刻蝕後的內量子效率接近70%.
대Zn재N-CaSb정편중적확산과정진행료실험연구화분석.실험중채용"준밀봉"확산방법,사용순Zn화순Sb작위확산원,통과SIMS(이차리자질보의)측량,득출료불동확산시간화확산온도하적Zn확산곡선.경분석,발현확산원용량대SIMS측최화실험결과유흔대영향,재차기출상득출료교위이상적Zn확산곡선소대응적공황.계산료불동Zn확산곡선대응적내양자효솔,계산결과표명,확산실험득도적정편경정학각식후적내양자효솔접근70%.
