传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
2期
193-197
,共5页
游侠飞%吴昌聚%郑阳明%金仲和
遊俠飛%吳昌聚%鄭暘明%金仲和
유협비%오창취%정양명%금중화
MEMS%有限元法%电容式加速度计%热应力
MEMS%有限元法%電容式加速度計%熱應力
MEMS%유한원법%전용식가속도계%열응력
残余应力对MEMS器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响.基于MEMS电容式加速度计,采用热结构耦合场分析方法,对热应力的影响进行了仿真分析,并和实验结果进行比较.结果表明热应力不是影响器件性能的主要因素,而仿真模型中未考虑到的一些物理因素和工艺误差则可能是主要因素.针对课题组加速度计的制备过程从工艺的角度提出了相应的改进措施,为加速度计温度补偿模型的完善以及改版设计提供参考.
殘餘應力對MEMS器件的力學性能、可靠性和壽命都有較大的影響.基于MEMS電容式加速度計,採用熱結構耦閤場分析方法,對熱應力的影響進行瞭倣真分析,併和實驗結果進行比較.結果錶明熱應力不是影響器件性能的主要因素,而倣真模型中未攷慮到的一些物理因素和工藝誤差則可能是主要因素.針對課題組加速度計的製備過程從工藝的角度提齣瞭相應的改進措施,為加速度計溫度補償模型的完善以及改版設計提供參攷.
잔여응력대MEMS기건적역학성능、가고성화수명도유교대적영향.기우MEMS전용식가속도계,채용열결구우합장분석방법,대열응력적영향진행료방진분석,병화실험결과진행비교.결과표명열응력불시영향기건성능적주요인소,이방진모형중미고필도적일사물리인소화공예오차칙가능시주요인소.침대과제조가속도계적제비과정종공예적각도제출료상응적개진조시,위가속도계온도보상모형적완선이급개판설계제공삼고.
