载能团簇直接诱发硅单晶转变成纳米晶结构
재능단족직접유발규단정전변성납미정결구
Nanocrystal structure on monocrystalline silicon induced by energetic cluster
  • 万方数据
    核技术 핵기술
    NUCLEAR TECHNIQUES
    2005年 5期 333-336 ,共4页

    缪竞威%王培禄%王虎%杨朝文%缪蕾%朱洲森%郑思孝%刘仲阳%廖小东%师勉恭

    무경위%왕배록%왕호%양조문%무뢰%주주삼%정사효%류중양%료소동%사면공

    氮团簇注入%硅单晶%纳米晶结构%红外吸收谱 氮糰簇註入%硅單晶%納米晶結構%紅外吸收譜
    담단족주입%규단정%납미정결구%홍외흡수보
    用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×1017cm-2的N+10团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌.发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布.用红外吸收实验检测了该实样的光学特性.实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在10%左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料.
    용소묘탐침현미경(SPM)관찰료능량76keV、제량1.7×1017cm-2적N+10단족리자주입Si(111)단정표면적형모.발현재차조건하,주입층이직접전화성구유일정립도분포적납미정결구,병측량료형성정립적척도급분포.용홍외흡수실험검측료해실양적광학특성.실험표명,해시양대빈대흔관적홍외광산생료흔강적균균흡수,재홍외광구,기투광도균보지재10%좌우,표명기주입층이형성일충품질우량적흡광재료.
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