集美大学学报（自然科学版）
集美大學學報（自然科學版）
집미대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIMEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2005年
4期
356-359
,共4页
梁秀萍%张红治%孙晓娟%胡礼中
樑秀萍%張紅治%孫曉娟%鬍禮中
량수평%장홍치%손효연%호례중
近场光存储%集成式SNOM%液相外延%选择生长%金字塔微探尖
近場光存儲%集成式SNOM%液相外延%選擇生長%金字塔微探尖
근장광존저%집성식SNOM%액상외연%선택생장%금자탑미탐첨
阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏、难以对准等技术难题.该制作过程具有重复性较好,设备简单、经济,实用价值较高等优点.
闡述瞭用于超高密度光存儲的集成式掃描近場光學顯微術(SNOM)微探尖的液相外延選擇生長方案,併給齣瞭實驗結果.此種微探尖,可直接生長在微型集成式SNOM傳感器的垂直腔錶麵髮射激光器(VCSEL)晶片齣光口上,避免瞭探尖轉移帶來的探尖損壞、難以對準等技術難題.該製作過程具有重複性較好,設備簡單、經濟,實用價值較高等優點.
천술료용우초고밀도광존저적집성식소묘근장광학현미술(SNOM)미탐첨적액상외연선택생장방안,병급출료실험결과.차충미탐첨,가직접생장재미형집성식SNOM전감기적수직강표면발사격광기(VCSEL)정편출광구상,피면료탐첨전이대래적탐첨손배、난이대준등기술난제.해제작과정구유중복성교호,설비간단、경제,실용개치교고등우점.
