光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2006年
4期
533-538
,共6页
李锐钢%郑立功%薛栋林%张学军
李銳鋼%鄭立功%薛棟林%張學軍
리예강%정립공%설동림%장학군
非球面检验%干涉术%Fiducial功能%投影畸变%干涉图重构%标定
非毬麵檢驗%榦涉術%Fiducial功能%投影畸變%榦涉圖重構%標定
비구면검험%간섭술%Fiducial공능%투영기변%간섭도중구%표정
提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm.根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求.
提齣瞭運用榦涉儀的Fiducial功能確定榦涉儀CCD的測量坐標繫與非毬麵鏡麵坐標繫的對應關繫,然後對兩者關繫進行正交化擬閤,從而標定齣非毬麵榦涉檢驗中的投影畸變,併用于某高次、離軸非毬麵進行榦涉檢驗中的投影畸變標定,擬閤精度為1.964 53μm.根據標定結果對榦涉測量麵形圖重構,進行瞭數控拋光實驗,最終麵形精度達到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),證明擬閤精度完全滿足數控拋光的要求.
제출료운용간섭의적Fiducial공능학정간섭의CCD적측량좌표계여비구면경면좌표계적대응관계,연후대량자관계진행정교화의합,종이표정출비구면간섭검험중적투영기변,병용우모고차、리축비구면진행간섭검험중적투영기변표정,의합정도위1.964 53μm.근거표정결과대간섭측량면형도중구,진행료수공포광실험,최종면형정도체도균방근치λ/20(λ=0.632 8 μm),증명의합정도완전만족수공포광적요구.
