兰州大学学报（自然科学版）
蘭州大學學報（自然科學版）
란주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LANZHOU UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES）
2007年
1期
96-98
,共3页
胡海龙%彭尚龙%唐泽国%祁菁%贺德衍
鬍海龍%彭尚龍%唐澤國%祁菁%賀德衍
호해룡%팽상룡%당택국%기정%하덕연
纳米晶Si%AAO衬底%PECVD
納米晶Si%AAO襯底%PECVD
납미정Si%AAO츤저%PECVD
用等离子体增强化学气相沉积在多孔氧化铝(AA0)上制备出具有纳米Si阵列分布的薄膜,用透射电子显微镜和扫描电子显微镜观察了不同生长条件下的样品形貌和结构,用x射线衍射谱仪分析了样品的结晶状况.样品呈现出良好的场电子发射稳定性,开启电场为7 V/μm.
用等離子體增彊化學氣相沉積在多孔氧化鋁(AA0)上製備齣具有納米Si陣列分佈的薄膜,用透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡觀察瞭不同生長條件下的樣品形貌和結構,用x射線衍射譜儀分析瞭樣品的結晶狀況.樣品呈現齣良好的場電子髮射穩定性,開啟電場為7 V/μm.
용등리자체증강화학기상침적재다공양화려(AA0)상제비출구유납미Si진렬분포적박막,용투사전자현미경화소묘전자현미경관찰료불동생장조건하적양품형모화결구,용x사선연사보의분석료양품적결정상황.양품정현출량호적장전자발사은정성,개계전장위7 V/μm.
