武汉大学学报（理学版）
武漢大學學報（理學版）
무한대학학보（이학판）
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
3期
333-336
,共4页
杨种田%柯贤文%刘传胜%郭立平%付德君
楊種田%柯賢文%劉傳勝%郭立平%付德君
양충전%가현문%류전성%곽립평%부덕군
离化团簇束技术%Hall离子源%ZnO薄膜
離化糰簇束技術%Hall離子源%ZnO薄膜
리화단족속기술%Hall리자원%ZnO박막
为了探索低温可调控ZnO薄膜沉积技术,提出了一种新的ZnO薄膜制备方法,即离化团簇束(ICB)法,并自行设计研制了应用该方法制备ZnO薄膜的专门装置.采用超音速喷嘴获得高速锌原子团簇束,用Hall等离子体源产生氧离子束离化锌原子团簇,获得了较高的离化率.在沉积过程中,可以通过调节衬底偏压、氩氧比、衬底加热温度等参数,来控制成膜的质量;应用这个装置成功地在硅衬底上制备的ZnO薄膜,经XRD和EDS检测,薄膜的c轴取向一致,Zn、O原子百分比接近于1:1,成膜质量好.
為瞭探索低溫可調控ZnO薄膜沉積技術,提齣瞭一種新的ZnO薄膜製備方法,即離化糰簇束(ICB)法,併自行設計研製瞭應用該方法製備ZnO薄膜的專門裝置.採用超音速噴嘴穫得高速鋅原子糰簇束,用Hall等離子體源產生氧離子束離化鋅原子糰簇,穫得瞭較高的離化率.在沉積過程中,可以通過調節襯底偏壓、氬氧比、襯底加熱溫度等參數,來控製成膜的質量;應用這箇裝置成功地在硅襯底上製備的ZnO薄膜,經XRD和EDS檢測,薄膜的c軸取嚮一緻,Zn、O原子百分比接近于1:1,成膜質量好.
위료탐색저온가조공ZnO박막침적기술,제출료일충신적ZnO박막제비방법,즉리화단족속(ICB)법,병자행설계연제료응용해방법제비ZnO박막적전문장치.채용초음속분취획득고속자원자단족속,용Hall등리자체원산생양리자속리화자원자단족,획득료교고적리화솔.재침적과정중,가이통과조절츤저편압、아양비、츤저가열온도등삼수,래공제성막적질량;응용저개장치성공지재규츤저상제비적ZnO박막,경XRD화EDS검측,박막적c축취향일치,Zn、O원자백분비접근우1:1,성막질량호.
