计算机学报
計算機學報
계산궤학보
CHINESE JOURNAL OF COMPUTERS
2009年
6期
1147-1151
,共5页
缺陷%延迟%互连线%寄生电容%耦合电容
缺陷%延遲%互連線%寄生電容%耦閤電容
결함%연지%호련선%기생전용%우합전용
互连线的寄生效应是制约深亚微米VLSI电路实现高速、高密度的关键因素.文中分析了集成电路制造过程中的工艺缺陷对互连线间寄生电容的影响,给出了考虑缺陷等因素的线间寄生电容模型.模拟结果表明,导电冗余物缺陷明显增加了线间寄生电容,从而对电路的可靠性有较大影响.
互連線的寄生效應是製約深亞微米VLSI電路實現高速、高密度的關鍵因素.文中分析瞭集成電路製造過程中的工藝缺陷對互連線間寄生電容的影響,給齣瞭攷慮缺陷等因素的線間寄生電容模型.模擬結果錶明,導電冗餘物缺陷明顯增加瞭線間寄生電容,從而對電路的可靠性有較大影響.
호련선적기생효응시제약심아미미VLSI전로실현고속、고밀도적관건인소.문중분석료집성전로제조과정중적공예결함대호련선간기생전용적영향,급출료고필결함등인소적선간기생전용모형.모의결과표명,도전용여물결함명현증가료선간기생전용,종이대전로적가고성유교대영향.
