传感器世界
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전감기세계
SENSOR WORLD
2009年
11期
20-22
,共3页
电容式加速度计%厚膜混合集成%丝网印刷%再回流焊%金丝键合
電容式加速度計%厚膜混閤集成%絲網印刷%再迴流銲%金絲鍵閤
전용식가속도계%후막혼합집성%사망인쇄%재회류한%금사건합
为了减小电容式加速度计的体积,提高检测精度、扩展应用范围,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体.详细介绍了厚膜混合集成工艺的版图设计和制作过程,并介绍了制作工艺中的各道工序.用UP-16封装形式,对厚膜混合集成电容式加速度计进行了封装.经过与原电路比较后可知经厚膜混合集成后,体积大大减小,经封装后通过金属外壳接地,提高抗干扰能力,经测试,其测试精度能提高1-2个数量级.
為瞭減小電容式加速度計的體積,提高檢測精度、擴展應用範圍,採用厚膜混閤集成工藝,將檢測電路和電容式加速度計敏感單元集成于一體.詳細介紹瞭厚膜混閤集成工藝的版圖設計和製作過程,併介紹瞭製作工藝中的各道工序.用UP-16封裝形式,對厚膜混閤集成電容式加速度計進行瞭封裝.經過與原電路比較後可知經厚膜混閤集成後,體積大大減小,經封裝後通過金屬外殼接地,提高抗榦擾能力,經測試,其測試精度能提高1-2箇數量級.
위료감소전용식가속도계적체적,제고검측정도、확전응용범위,채용후막혼합집성공예,장검측전로화전용식가속도계민감단원집성우일체.상세개소료후막혼합집성공예적판도설계화제작과정,병개소료제작공예중적각도공서.용UP-16봉장형식,대후막혼합집성전용식가속도계진행료봉장.경과여원전로비교후가지경후막혼합집성후,체적대대감소,경봉장후통과금속외각접지,제고항간우능력,경측시,기측시정도능제고1-2개수량급.
