光机电信息
光機電信息
광궤전신식
OME INFORMATION
2010年
2期
9-17
,共9页
光生物芯片将光学和微流体元件以及半导体光辐射装置结合起来.它可以广泛利用包括聚合物、玻璃和薄金属膜层等合适的材料来实现低成本装置.激光精细加工是一项能够实现这些材料的亚微米分辨率加工的可行的理想的加工技术.本文描述了利用激光微加工技术来实现一些光生物芯片和元件等.这些装置利用微流体和电动方法来实现微生物细胞的控制和表征.受激准分子激光微加工技术已经在制造复杂的微电极阵列和微流体沟道中得到了应用.为了实现垂直腔面发射LED和激光器的光能够在芯片中传输,准分子激光器也在制造片上微光学元件(例如微透镜和波导)中得到了应用.超快脉冲激光器已经成功应用于构造晶片级的半导体光发射器件中.在实现这些有源晶片的表面图形化和体加工时能够保持其功能不变.本文主要介绍了超快激光器和准分子激光器在实现结构制作方面为晶片反应室内提供环状光照明的用途.该工作中采用的激光微加工技术仅需要很少的后处理,因此可以使得这些元件能够满足光生物芯片从少量到大量的生产.
光生物芯片將光學和微流體元件以及半導體光輻射裝置結閤起來.它可以廣汎利用包括聚閤物、玻璃和薄金屬膜層等閤適的材料來實現低成本裝置.激光精細加工是一項能夠實現這些材料的亞微米分辨率加工的可行的理想的加工技術.本文描述瞭利用激光微加工技術來實現一些光生物芯片和元件等.這些裝置利用微流體和電動方法來實現微生物細胞的控製和錶徵.受激準分子激光微加工技術已經在製造複雜的微電極陣列和微流體溝道中得到瞭應用.為瞭實現垂直腔麵髮射LED和激光器的光能夠在芯片中傳輸,準分子激光器也在製造片上微光學元件(例如微透鏡和波導)中得到瞭應用.超快脈遲激光器已經成功應用于構造晶片級的半導體光髮射器件中.在實現這些有源晶片的錶麵圖形化和體加工時能夠保持其功能不變.本文主要介紹瞭超快激光器和準分子激光器在實現結構製作方麵為晶片反應室內提供環狀光照明的用途.該工作中採用的激光微加工技術僅需要很少的後處理,因此可以使得這些元件能夠滿足光生物芯片從少量到大量的生產.
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