压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
1期
115-118,122
,共5页
章春来%郭袁俊%吕海兵%袁晓东%蒋晓东%祖小涛
章春來%郭袁俊%呂海兵%袁曉東%蔣曉東%祖小濤
장춘래%곽원준%려해병%원효동%장효동%조소도
SiO2/ZrO2薄膜%孔隙率%热吸收%激光损伤阈值%损伤形貌
SiO2/ZrO2薄膜%孔隙率%熱吸收%激光損傷閾值%損傷形貌
SiO2/ZrO2박막%공극솔%열흡수%격광손상역치%손상형모
分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的SiO2和ZrO2单层膜.分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd:YAG激光器测试了样品的激光损伤阈值(LIDT;1064 nm/8.1 ns),并用光学显微镜观察了两类薄膜的损伤形貌.结果表明,化学膜的孔隙率和表面粗糙度均大于相应的物理膜;对同一类薄膜而言,SiO2化学膜的孔隙率和表面粗糙度都比ZrO2化学膜大,物理膜则相反.化学膜有更小的热吸收,其损伤阈值普遍比物理膜高出1倍,其损伤形貌多为热熔型,而物理膜多为应力型.
分彆採用物理氣相沉積和溶膠-凝膠技術在K9基片上鍍製瞭4塊光學厚度相近的SiO2和ZrO2單層膜.分彆採用橢偏儀、透射式光熱透鏡和原子力顯微鏡對兩類薄膜的孔隙率、熱吸收和微觀錶麵形貌進行瞭錶徵;利用Nd:YAG激光器測試瞭樣品的激光損傷閾值(LIDT;1064 nm/8.1 ns),併用光學顯微鏡觀察瞭兩類薄膜的損傷形貌.結果錶明,化學膜的孔隙率和錶麵粗糙度均大于相應的物理膜;對同一類薄膜而言,SiO2化學膜的孔隙率和錶麵粗糙度都比ZrO2化學膜大,物理膜則相反.化學膜有更小的熱吸收,其損傷閾值普遍比物理膜高齣1倍,其損傷形貌多為熱鎔型,而物理膜多為應力型.
분별채용물리기상침적화용효-응효기술재K9기편상도제료4괴광학후도상근적SiO2화ZrO2단층막.분별채용타편의、투사식광열투경화원자력현미경대량류박막적공극솔、열흡수화미관표면형모진행료표정;이용Nd:YAG격광기측시료양품적격광손상역치(LIDT;1064 nm/8.1 ns),병용광학현미경관찰료량류박막적손상형모.결과표명,화학막적공극솔화표면조조도균대우상응적물리막;대동일류박막이언,SiO2화학막적공극솔화표면조조도도비ZrO2화학막대,물리막칙상반.화학막유경소적열흡수,기손상역치보편비물리막고출1배,기손상형모다위열용형,이물리막다위응력형.
