润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2011年
3期
44-48
,共5页
谷坤明%王超%毛斐%虞烈%汤皎宁
穀坤明%王超%毛斐%虞烈%湯皎寧
곡곤명%왕초%모비%우렬%탕교저
气相沉积%类金刚石碳膜%正交实验%摩擦磨损性能
氣相沉積%類金剛石碳膜%正交實驗%摩抆磨損性能
기상침적%류금강석탄막%정교실험%마찰마손성능
采用系统的正交实验法对ECR-CVD法沉积类金刚石碳膜(DLC)的优化工艺进行研究,并分析不同工艺参数对DLC膜性能的影响.共选择基片温度、H2流量、微波功率、直流偏压、脉冲偏压以及脉冲偏压占空比6个参数建立起6因素5水平的正交表,分别以薄膜摩擦因数、磨损率、显微硬度、拉曼谱中D峰与G峰的面积比ID/IG作为考察对象进行研究.极差分析表明,对不同的考察因素其优化工艺略有区别.在所选的参数范围内,脉冲偏压对所测量的DLC膜的性能影响最大.
採用繫統的正交實驗法對ECR-CVD法沉積類金剛石碳膜(DLC)的優化工藝進行研究,併分析不同工藝參數對DLC膜性能的影響.共選擇基片溫度、H2流量、微波功率、直流偏壓、脈遲偏壓以及脈遲偏壓佔空比6箇參數建立起6因素5水平的正交錶,分彆以薄膜摩抆因數、磨損率、顯微硬度、拉曼譜中D峰與G峰的麵積比ID/IG作為攷察對象進行研究.極差分析錶明,對不同的攷察因素其優化工藝略有區彆.在所選的參數範圍內,脈遲偏壓對所測量的DLC膜的性能影響最大.
채용계통적정교실험법대ECR-CVD법침적류금강석탄막(DLC)적우화공예진행연구,병분석불동공예삼수대DLC막성능적영향.공선택기편온도、H2류량、미파공솔、직류편압、맥충편압이급맥충편압점공비6개삼수건립기6인소5수평적정교표,분별이박막마찰인수、마손솔、현미경도、랍만보중D봉여G봉적면적비ID/IG작위고찰대상진행연구.겁차분석표명,대불동적고찰인소기우화공예략유구별.재소선적삼수범위내,맥충편압대소측량적DLC막적성능영향최대.
