真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2011年
1期
17-22
,共6页
满卫东%陈朋%吴宇琼%吕继磊%董维%朱金凤
滿衛東%陳朋%吳宇瓊%呂繼磊%董維%硃金鳳
만위동%진붕%오우경%려계뢰%동유%주금봉
金刚石膜%溶碳材料%刻蚀%MPCVD
金剛石膜%溶碳材料%刻蝕%MPCVD
금강석막%용탄재료%각식%MPCVD
金刚石具有很高的硬度,加工困难,为寻找一种刻蚀效率较高的材料,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在氢等离子体作用下,研究了Fe、Co对CVD金刚石膜表面的刻蚀效率.用SEM观察刻蚀效果,用Baman光谱对其表面结构进行表征.结果表明:在氢等离子体的作用下,Fe、Co对金刚石表面都有明显的腐蚀作用,其中Fe的刻蚀速率较高,并且可以通过对溶碳材料的厚度控制,来实现对刻蚀速率与刻蚀量的有效控制.对刻蚀后的样品用混合酸及丙酮处理后,得到了可与原始金刚石相媲美的质量.
金剛石具有很高的硬度,加工睏難,為尋找一種刻蝕效率較高的材料,利用微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)技術,在氫等離子體作用下,研究瞭Fe、Co對CVD金剛石膜錶麵的刻蝕效率.用SEM觀察刻蝕效果,用Baman光譜對其錶麵結構進行錶徵.結果錶明:在氫等離子體的作用下,Fe、Co對金剛石錶麵都有明顯的腐蝕作用,其中Fe的刻蝕速率較高,併且可以通過對溶碳材料的厚度控製,來實現對刻蝕速率與刻蝕量的有效控製.對刻蝕後的樣品用混閤痠及丙酮處理後,得到瞭可與原始金剛石相媲美的質量.
금강석구유흔고적경도,가공곤난,위심조일충각식효솔교고적재료,이용미파등리자체화학기상침적(MPCVD)기술,재경등리자체작용하,연구료Fe、Co대CVD금강석막표면적각식효솔.용SEM관찰각식효과,용Baman광보대기표면결구진행표정.결과표명:재경등리자체적작용하,Fe、Co대금강석표면도유명현적부식작용,기중Fe적각식속솔교고,병차가이통과대용탄재료적후도공제,래실현대각식속솔여각식량적유효공제.대각식후적양품용혼합산급병동처리후,득도료가여원시금강석상비미적질량.
