金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2000年
12期
1275-1278
,共4页
杜黎光%肖克来提%朱奇农%盛玫%罗乐
杜黎光%肖剋來提%硃奇農%盛玫%囉樂
두려광%초극래제%주기농%성매%라악
Au/Ti%Pd/Ti%多层金属膜%原位电阻法%扩散
Au/Ti%Pd/Ti%多層金屬膜%原位電阻法%擴散
Au/Ti%Pd/Ti%다층금속막%원위전조법%확산
采用原位电阻法测量了高温器件焊面多层金属膜Au/Ti,Pd/Ti在300℃不同气氛下电阻随退火时间的变化.结果表明,300℃退火时Au膜中存在Ti的扩散导致电阻显著增加,但电阻随时间变化与气氛的关系不大.电阻变化的规律基本符合一维有限厚无限大平面体扩散模型.空气中退火时电阻增加小于Ar气氛下退火电阻增加,可用Au膜中Ti扩散速率的差异来解释.Pd/Ti膜在Ar气氛下退火时电阻基本无变化,但空气中退火时因Ti层部分氧化而导致膜的电阻少量增加(约3%).
採用原位電阻法測量瞭高溫器件銲麵多層金屬膜Au/Ti,Pd/Ti在300℃不同氣氛下電阻隨退火時間的變化.結果錶明,300℃退火時Au膜中存在Ti的擴散導緻電阻顯著增加,但電阻隨時間變化與氣氛的關繫不大.電阻變化的規律基本符閤一維有限厚無限大平麵體擴散模型.空氣中退火時電阻增加小于Ar氣氛下退火電阻增加,可用Au膜中Ti擴散速率的差異來解釋.Pd/Ti膜在Ar氣氛下退火時電阻基本無變化,但空氣中退火時因Ti層部分氧化而導緻膜的電阻少量增加(約3%).
채용원위전조법측량료고온기건한면다층금속막Au/Ti,Pd/Ti재300℃불동기분하전조수퇴화시간적변화.결과표명,300℃퇴화시Au막중존재Ti적확산도치전조현저증가,단전조수시간변화여기분적관계불대.전조변화적규률기본부합일유유한후무한대평면체확산모형.공기중퇴화시전조증가소우Ar기분하퇴화전조증가,가용Au막중Ti확산속솔적차이래해석.Pd/Ti막재Ar기분하퇴화시전조기본무변화,단공기중퇴화시인Ti층부분양화이도치막적전조소량증가(약3%).
