中国科学E辑
中國科學E輯
중국과학E집
SCIENCE IN CHINA (SERIES E)
2007年
1期
7-11
,共5页
郭冬云%李美亚%裴玲%于本方%吴庚柱%赵兴中%王耘波%于军
郭鼕雲%李美亞%裴玲%于本方%吳庚柱%趙興中%王耘波%于軍
곽동운%리미아%배령%우본방%오경주%조흥중%왕운파%우군
Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜%Sol-gel法%铁电性能%疲劳特性%漏电流
Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜%Sol-gel法%鐵電性能%疲勞特性%漏電流
Bi3.25La0.75Ti3O12박막%Sol-gel법%철전성능%피로특성%루전류
采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜.制备的BLT薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构,而且表面平整致密.对700℃退火处理的BLT薄膜进行了铁电性能、疲劳特性和漏电流测试: 在测试电压为10 V时,剩余极化值2Pr大约是18.6 μC/cm2,矫顽电压2Vc大约为4.1 V;经过1×1010次极化反转后,剩余极化值下降了大约10%;漏电流测试显示制备的BLT薄膜具有良好的绝缘性能.室温下,在测试频率1 kHz时,薄膜的介电常数为176,介电损耗为0.046.
採用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜.製備的BLT薄膜具有單一的鈣鈦礦晶格結構,而且錶麵平整緻密.對700℃退火處理的BLT薄膜進行瞭鐵電性能、疲勞特性和漏電流測試: 在測試電壓為10 V時,剩餘極化值2Pr大約是18.6 μC/cm2,矯頑電壓2Vc大約為4.1 V;經過1×1010次極化反轉後,剩餘極化值下降瞭大約10%;漏電流測試顯示製備的BLT薄膜具有良好的絕緣性能.室溫下,在測試頻率1 kHz時,薄膜的介電常數為176,介電損耗為0.046.
채용Sol-gel법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)박막.제비적BLT박막구유단일적개태광정격결구,이차표면평정치밀.대700℃퇴화처리적BLT박막진행료철전성능、피로특성화루전류측시: 재측시전압위10 V시,잉여겁화치2Pr대약시18.6 μC/cm2,교완전압2Vc대약위4.1 V;경과1×1010차겁화반전후,잉여겁화치하강료대약10%;루전류측시현시제비적BLT박막구유량호적절연성능.실온하,재측시빈솔1 kHz시,박막적개전상수위176,개전손모위0.046.
