中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2008年
2期
260-265
,共6页
石永敬%龙思远%方亮%潘复生%杨世才
石永敬%龍思遠%方亮%潘複生%楊世纔
석영경%룡사원%방량%반복생%양세재
铬氮涂层%磁控溅射%T10%Cr2N%CrN
鉻氮塗層%磁控濺射%T10%Cr2N%CrN
락담도층%자공천사%T10%Cr2N%CrN
研究在不同工艺条件下用直流反应磁控溅射技术在T10衬底上制备Cr-N涂层,并采用光电子能谱仪和XRD依次分析Cr-N涂层的表面结构和工艺参数对Cr-N涂层成分及相组成的影响.结果表明,Cr-N涂层在存放一段时间后表面产生复杂的Cr2O3相以及Cr(O,N)x相;常温下随着N2含量的增加,涂层相结构逐渐由Cr转变为化学比的CrN相.当N2含量为33.3%时,Cr-N涂层的相成分主要为Cr2N+CrN.并发现衬底偏压直接影响Cr-N系涂层的晶态及取向特征,当偏压增加到-130 V时,Cr-N涂层中β-Cr2N相结构逐渐转变为(110)和(300)取向结构.
研究在不同工藝條件下用直流反應磁控濺射技術在T10襯底上製備Cr-N塗層,併採用光電子能譜儀和XRD依次分析Cr-N塗層的錶麵結構和工藝參數對Cr-N塗層成分及相組成的影響.結果錶明,Cr-N塗層在存放一段時間後錶麵產生複雜的Cr2O3相以及Cr(O,N)x相;常溫下隨著N2含量的增加,塗層相結構逐漸由Cr轉變為化學比的CrN相.噹N2含量為33.3%時,Cr-N塗層的相成分主要為Cr2N+CrN.併髮現襯底偏壓直接影響Cr-N繫塗層的晶態及取嚮特徵,噹偏壓增加到-130 V時,Cr-N塗層中β-Cr2N相結構逐漸轉變為(110)和(300)取嚮結構.
연구재불동공예조건하용직류반응자공천사기술재T10츤저상제비Cr-N도층,병채용광전자능보의화XRD의차분석Cr-N도층적표면결구화공예삼수대Cr-N도층성분급상조성적영향.결과표명,Cr-N도층재존방일단시간후표면산생복잡적Cr2O3상이급Cr(O,N)x상;상온하수착N2함량적증가,도층상결구축점유Cr전변위화학비적CrN상.당N2함량위33.3%시,Cr-N도층적상성분주요위Cr2N+CrN.병발현츤저편압직접영향Cr-N계도층적정태급취향특정,당편압증가도-130 V시,Cr-N도층중β-Cr2N상결구축점전변위(110)화(300)취향결구.
