中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2008年
9期
1033-1036
,共4页
杨卓青%丁桂甫%蔡豪刚%刘瑞%赵小林
楊卓青%丁桂甫%蔡豪剛%劉瑞%趙小林
양탁청%정계보%채호강%류서%조소림
非硅表面微加工%微型惯性开关%设计与制作%微机电系统(MEMS)
非硅錶麵微加工%微型慣性開關%設計與製作%微機電繫統(MEMS)
비규표면미가공%미형관성개관%설계여제작%미궤전계통(MEMS)
基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护.使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果.
基于非硅錶麵微加工技術,給齣瞭微機電繫統慣性電學開關的一種新式設計,該設計採用兩耑懸空固定的多孔彈性樑作為固定電極,由連體蛇形彈簧連接懸空的質量塊作為可動電極,可動電極位于支撐層和彈性樑之間,該結構在保證微開關具有足夠靈敏度的同時,可有效提高兩電極間的接觸效果和器件的抗遲擊保護.使用成本較低的多次疊層電鍍鎳的方法製作瞭設計的微型慣性開關,併對其元器件進行瞭試驗測試,結果錶明:開關在100g加速度作用下的響應時間和接觸時間分彆約為0.40ms和12μs,與有限元動力學倣真結果吻閤較好,錶現齣較高的靈敏度和良好接觸效果.
기우비규표면미가공기술,급출료미궤전계통관성전학개관적일충신식설계,해설계채용량단현공고정적다공탄성량작위고정전겁,유련체사형탄황련접현공적질량괴작위가동전겁,가동전겁위우지탱층화탄성량지간,해결구재보증미개관구유족구령민도적동시,가유효제고량전겁간적접촉효과화기건적항충격보호.사용성본교저적다차첩층전도얼적방법제작료설계적미형관성개관,병대기원기건진행료시험측시,결과표명:개관재100g가속도작용하적향응시간화접촉시간분별약위0.40ms화12μs,여유한원동역학방진결과문합교호,표현출교고적령민도화량호접촉효과.
